Produktmerkmale
Unterstützung mehrerer Versionen (SPS/PC) und verschiedener gängiger Kommunikationsprotokolle;
Design und Produktion gemäß SEMI-Sicherheitsproduktionsstandard;
Hohe Kanaldesignkapazität, UPH400~550 Stück;
Geeignet für mehrere Produktabmessungen und Magazine;
Patentiertes MFC-Wafer-Level-Design, das verhindert, dass Gaslecks zu Sicherheitsunfällen führen (unterstützt Hochrisikogase wie Wasserstoff);
Patentiertes Design der hohen Dichtungskammer, bis zu 5 Pa;
Wasserkontaktwinkel<10° (related to the material of product surface);
Design von vier Kanälen für die gleichzeitige Verarbeitung von 4 Produkten mit doppelten Bodenelektroden, wodurch die Zeit für den Ein- und Austritt der Platine verkürzt, die Effizienz deutlich verbessert und die Produktgleichmäßigkeit bei der Verarbeitung sichergestellt wird.
technische Spezifikationen
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Funktionale Konfiguration |
Technische Parameter |
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L×B×H(mm) |
L1600×W1150×H1700 |
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Ausrüstung |
Nettogewicht (kg) |
1000 |
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Umfangsspiel (mm) |
600 hinten, 600 auf beiden Seiten |
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Kammer |
Volumen (L) |
Ungefähr 9 |
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Kanal(nr.) |
4 |
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Untere Elektrode (Stk.) |
2 (Übergangsfunktion) |
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Fütterungsmodus |
Magazin |
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Adaptive Produktabmessungen (mm) |
Breite: 40–100 Länge: 150–300 |
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Elektrode |
Elektrodenabmessungen (mm) |
528×300 |
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HF-Stromversorgung |
Standardleistung (kW) |
1 |
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Frequenz (MHz) |
13.56 |
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Gaskontrolle |
Bis zu drei Kanäle |
2 Kanäle (Standard), 3 Kanäle (optional) |
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Kontrollsystem |
Mensch-Maschinenschnittstelle |
PC+Touchscreen |
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Remote-Schnittstelle |
Kommunikation |
Optional |
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Vakuumpumpe |
Optionale Trockenpumpe |
17CFM |
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Optionale Ölpumpe |
195CFM |
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Optionale Trockenpumpe mit Spülfunktion |
JA |
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Stickstoffspüldurchflussrate (SLM) |
2 |
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Staubsaugenzeit(S) |
10月15日 |
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Vakuum-Bruchzeit (S) |
3-4 |
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Fabrikanlagen |
Stromversorgung |
Dreiphasig 380 V, 50/60 Hz, 4,5 kW (Ölpumpe) |
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Dimension und Art des Prozesses |
1/4 Zoll Swagelok |
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Reinheit des Prozessgases |
Industriequalität und höher |
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Druck des Prozessgases (psig) |
10-20 |
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Dimension und Typ der Spülgasleitung |
1/4 Zoll Swagelok |
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Reinheit des Spülgases |
Industriequalität und höher |
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Druck des Spülgases (psig) |
15 |
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Abmessungen und Art der Pneumatik |
10-mm-Steckanschluss- |
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Reinheit von pneumatischem Gas |
Druckluft, ölfrei, Taupunkt kleiner oder gleich 7 Grad, Partikel<5 |
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Druck des pneumatischen Gases (psig) |
70-90 |
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Druckluft (mm) |
∅8 |
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Einhaltung |
Zertifizierung |
SEMI |
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Zusatzausrüstung |
Stickstoffgenerator (optional) |
Optional zur Stickstoffspülung |
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Wasserkühler (optional) |
Optional zur Elektrodenkühlung |
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Wasserstoff-Kit (optional) |
Optional zur Wasserstoffbehandlung |
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Abgasprozessor (optional) |
Optional zur Fluor-Abgasbehandlung |
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Transport |
Gesamtgewicht (kg) |
1050 |
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Anzahl der Pakete |
1 |
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Verpackung gemäß SPM15-Standard |
JA |
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Beliebte label: VP-10S Automatisches Vakuum-Plasma-Behandlungssystem, VP-10S Automatisches Vakuum-Plasma-Behandlungssystem