Plasmabehandlungssystem der VP-Serie

Plasmabehandlungssystem der VP-Serie

Edelstahl der Vakuumkammer;
Extrem niedrige Temperatur - Die Temperatur beträgt nur 40 Grad;
Omnidirektionale Oberflächenreinigung - Unterschiedliches Plasma kann zur Reinigung in den ultrafeinen Spalt eindringen;-

Produktmerkmale

 

1. Edelstahl der Vakuumkammer;

2. Ultraniedrige Temperatur - Die Temperatur beträgt nur 40 Grad;

3. Omnidirektionale Oberflächenreinigung - Unterschiedliches Plasma kann zur Reinigung in den ultrafeinen Spalt eindringen;

4. Umweltschutz -Vor und nach der Behandlung entstehen keine schädlichen Substanzen, und schädliche Lösungsmittel für den menschlichen Körper bleiben fern.

5. Stabilität -Kontinuität und Konstanz zur Aufrechterhaltung der Stabilität von Maschinen und Anlagen während des Betriebs;

6. Reinigung -Staub und Öl, Feinreinigung und statische Elektrizität entfernen;

7. Anregung -Verbessern Sie die Haftungsfähigkeit der Oberfläche und erhöhen Sie die Oberflächenenergie des Objekts erheblich.

8. Platy-Stripping - Plättchenförmiges Abisolieren der AF/AS-Schicht.

 

technische Spezifikationen

 

Funktionskonfiguration

Technischer Parameter

Modell

VP-60L

VP-80L

VP-100L

VP-150L

Abmessungen (mm)

L=1200; W=920; H=1690

Vakuumkammer

Abmessungen (mm)

L=403; W=400;H=403

L=450; W=400;H=450

L=470; W=460;H=470

L=500; W=600;H=500

Vakuumkammer

Material

Edelstahl

Elektrodenplatte

Abmessungen (mm)

319(L)×374(W)

320(L)×420(W)

380(L)×440(W)

520(L)×470(W)

Elektrodenplatte

Material

Spezielle Aluminiumelektrode

Gewicht (kg)

560

580

630

680

Kontrolle

PLC+ Touchscreen

Elektrodenplatte

Struktur

Horizontal 8 Schichten

Vakuumpumpensystem

Zwei-stufige Drehteller-Vakuumpumpe/Roots-Vakuumpumpe

Vakuum

Messung

System

Pilani-Widerstandsvakuummeter

Gasmessung

System

Hochpräzises Massendurchflussmessgerät

Plasmagenerator

Hochpräziser 0-500-W-Plasmagenerator

Hohe Präzision

0-1000W

Plasmagenerator

Plasma-Anpassungseinheit

Hochpräzise automatische 0-500-W-Anpassungseinheit

Hohe Präzision

0-1000W

Automatischer Abgleich

Einheit

Arbeitsvakuum

10-100 Pa

Grenzdruck von

Vakuumpumpe

5×10-1 Pa

Zeit zu erreichen

Vakuumzeit(en)

Kleiner oder gleich 55

Kleiner oder gleich 70

Kleiner oder gleich 80

Kleiner oder gleich 100

Zeit zum Loslassen

Vakuumzeit(en)

Kleiner oder gleich 15

Kleiner oder gleich 20

Kleiner oder gleich 25

Kleiner oder gleich 30

Gasregelbereich

(sccm)

Massenstrom 0-300 (optional)

Massenfluss

0-500 (optional)

Radiofrequenz

Stromversorgung (W)

0-500

(Einstellbar im Bereich)

0-1000 (im Bereich einstellbar)

Funktionsweise

Manuell, automatische Ein-Tasten-Bedienung

Stromversorgung

Dreiphasig 380 V

Nennleistung (kW)

4

 

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